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光學微電子凈化無塵車間技術解決方案

發表時間: 2020-08-31

Welcome彩神光學微電子凈化車間亦名光學微電子無塵室或光學微電子潔凈室,目前已是半導體、精密電子元件、液晶制造、光學儀器制造、線路板制造和手機、計算機等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于優勢地位。

光學微電子凈化無塵車間技術解決方案

Welcome彩神光學微電子凈化工程一般包括:

1、 潔凈生產區

Welcome彩神2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風淋室

Welcome彩神3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)

Welcome彩神光學微電子凈化工程凈化原理:

Welcome彩神氣流→初效空氣過濾器凈化→空調→中效空氣過濾器凈化→風機送風→管道→高效空氣過濾器凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效空氣過濾器凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。

光學微電子凈化工程凈化參數

換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa

Welcome彩神平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

Welcome彩神溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。

Welcome彩神噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

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